Im Rahmen des Mempfis-Forschungsvorhabens sollen piezoelektrische MEMS-Basisstrukturen basierend auf Biegebalken/Cantilever, sowie kapazitive MEMS mit Feder-Masse-Dämpfer System bezüglich deren Eignung als PUF untersucht werden. In diesem Zusammenhang sollen MEMS-Teststrukturen als Variationsquelle verwendet werden, die der Überwachung der Technologieparameter in der laufenden Fertigung auf Wafern bzw. innerhalb der Sensorelemente dienen. Da diese Teststrukturen im Idealfall keinen zusätzlichen Fertigungsaufwand und bei geeigneter Nutzung der Chipflächen kaum zusätzliche Kosten bedeuten, ist eine geeignete Auslegung und eine spätere Integration in jeden Sensor als PUF denkbar. Zu den potentiellen Anwendungen zählen die Identifikation, die Authentisierung, kryptographische Operationen, sowie die Erzeugung von Zufallszahlen.